运用牢靠的参阅规范块校准仪器。最终的丈量不确认度直接取决于校准规范块的丈量不确认度和丈量精度。

  参阅规范块应具有的已知单位面积质量或厚度的均匀的覆盖层，假如是合金，则应知其组成。参阅规范块的有用或限制外表的任何方位的覆盖层不能超过规则值的±5%.只需用于相同的组成和相同或已知密度的覆盖层，规则以厚度为单位（而不是单位面积质量）的规范块，将是牢靠的。合金组成的测定，校准规范不需要相同，但应当已知。

  金属箔规范片。若运用金属箔贴在特别基体外表作规范片，就必定要注意保证触摸清洁，无皱折纽结。任何密度差异，除非丈量答应，不然必定要进行补偿后再测。

  可用规范块的单位面积厚度单位校准仪器，厚度值有必要伴随着覆盖层资料的密度来校对。规范片应与被测试样具有相同的覆盖层和基体资料，但对试样基材为合金成分的，有些仪器软件答应标样基材可与被测试样基材不同，但条件是规范块基体资料与试样基材中的主元素相同。

  假如厚度由X射线吸收办法或比率办法确认，则厚度规范块的基体应与被测试样的基体具有相同的X射线发射特性，经过比较被测试样与校对参阅规范块的未镀基体所选的特征辐射的强度，然后经过软件到达对仪器的校对。